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  • 雅科貝思廠家代理

    AFXS直線電機平臺

    直線電機平臺用于晶圓、藍寶石等檢測,由Akribis高性能無鐵芯直線電機驅動;XY軸采用交叉滾柱導軌,中空結構,內置光柵系統。分辨率50nm,重復定位精度可達士0.75um,絕對定位精度2um;有效行程70*70mm,最大速度200mm/s;可定制。

    產品詳情

    Akribis雅科貝思直線電機平臺


    AFXS直線電機平臺:參數



    X軸
    Y軸

    行程


    70mm70mm
    分辨率50nm50nm
    定位精度±2μm  ±2μm
    重復度±0.75 μm±0.75 μm
    平面度±3.5 μm
    直線度±3.5 μm
    最大速度200 mm/s
    建議負載重量< 1 Kg
    中空尺寸90 * 110 mm

    XY軸正交度

    10 arc sec


    AFXS直線電機平臺


    AFXS直線電機平臺.

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