A. 無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機(jī)直驅(qū)
B. 高精度以及精準(zhǔn)回零
C. 無(wú)塵室蓋板
| 模組 | 軸 | 電機(jī)型號(hào) | 有效行程（mm） | 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量（Kg） | 總質(zhì)量（Kg） | 傳感器限位（mm） | 硬限位（mm） |
DGL200 | 上軸 | AUM4-S2 | 300 | 3.1 | 29 | 304 | 320 |
| AUM4-S3 | 300 | 3.4 | 29 | 304 | 320 | ||
下軸 | AUM4-S3 | 300 | 24.9 | 103 | 304 | 320 | |
| AUM4-S4 | 300 | 26.1 | 103 | 304 | 320 |
注：花崗巖的質(zhì)量大約240Kg.
性能參數(shù)
| 規(guī)格參數(shù) | 單位 | DGCR 300 | DGCRS 300 |
| 1直線(xiàn)度 | μm | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | ±3μm/25mm，NTE±10μm/610mm |
| 平面度 | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | ±3μm/25mm，NTE±10μm/300mm | |
| 重復(fù)精度（1μm分辨率） | ±3μm（40μm光柵柵距 | ±3μm（40μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（1μm分辨率） | ±1.5μm（20μm光柵柵距 | ±1.5μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（0.1μm分辨率） | ±1μm（20μm光柵柵距） | ±1μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（模擬量） | ±5 counts | ±5 counts | |
| X-Y正交性 | Arc-sec | 10 | 10 |
注：所有的測(cè)量數(shù)據(jù)基于直線(xiàn)模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺(tái)面上。
